Kuartzozko ostia erdieroalea

Semixlab Semiconductor Quartz wafer ontziak erdieroaleen fabrikazioan tenperatura altuko prozesuetarako (difusioa, oxidazioa, CVD, errekuntza, etab.) diseinatutako errotazio tresnak dira. Tenperatura altuko erresistentzia bikaina, egonkortasun kimikoa eta hedapen termiko koefiziente baxua dituen kuartzo sintetiko purutasun handikoa da, eta obleak egonkor eraman ditzake prozesu-ingurune gogorretan, prozesuaren koherentzia eta produktuaren errendimendua bermatzeko.

Aplikagarria den ekipamendua: Labe horizontal/bertikal mota guztiekin bateragarria (Labe horizontal/bertikal difusioa), LPCVD sistema eta tratamendu termiko azkarra (RTP) ekipamenduekin.

Kalitate bermea

Kalitate kontrol zorrotza: % 100eko helio masa espektrometria bidezko ihesen detekzioa (ihes-tasa <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Materialaren purutasun txostena (ICP-MS proba) lote bakoitzerako jaulkitzen da.

Ziurtagiri-arauak: SEMI F47 zehaztapenen arabera, ISO 9001:2015 kalitate-kudeaketa sistemaren ziurtagiriaren bidez.

Zerbitzu-bizitza: baldintza normaletan batez besteko bizitza 2 urte baino gehiagokoa da (prozesuaren maiztasunaren eta tenperatura-baldintzen arabera).

Zergatik aukeratu gure kuartzozko ontzia?

Zerbitzu pertsonalizatuak: ekipamendu modeloaren (TEL, Kokusai, ASM, etab.) eta prozesuaren eskakizunen arabera neurrira egindako tamaina eta eraikuntza.

Erantzun azkarra: Ohiko entrega-epea 3 astekoa da, premiazko eskaerak 10 lanegunera murriztu daitezke.

Mundu mailako zerbitzu-sarea: aholkularitza teknikoa, instalazio-gida eta salmenta osteko mantentze-lanetarako laguntza eskaintzen ditu. Materialen zehaztapenak.

Proiektuaren zehaztapena

Materialen sintesia Kuartzo urtua

Purutasuna ≥99.99% SiO₂

Oblearen tamainaren bateragarritasuna 8 ", 12" (pertsonaliza daiteke 6" edo 18")

Funtzionamendu-tenperatura ≤1200 °C (etengabea) / 1300 °C (punta)

Hedapen termikoaren koefizientea (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Gainazaleko zimurtasuna (Ra) ≤0.2μm

25/50/100 tabletako edukiera estandarra

Aplikagarriak diren prozesu-gasak: O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl, etab.

Tenperatura altuko oxidazioa/difusioa: silizio dopaketa (fosforoa, boroaren difusioa), ate oxidoaren hazkuntza.

Film mehearen deposizioa: LPCVD silizio polikristalinoa, silizio nitruro (Si₃N₄) deposizioa.

Erreketa prozesua: ioi inplantazioaren ondoren erreketa (RTA), metal aleazioak.

Hirugarren belaunaldiko erdieroalea: silizio karburoa (SiC), galio nitruroa (GaN) epitaxia prozesua.

1. Materialaren ezaugarriak

Ultra-purutasun handiko kuartzoa (>% 99.99 SiO₂): metal ioien kutsadura saihesten du (Na +, K +, Fe³ +, etab.) eta prozesu aurreratuetarako garbitasun-eskakizunak betetzen ditu (<5nm nodoak).

Tenperatura altuarekiko erresistentzia: 1200 °C-ko etengabeko funtzionamendu-tenperatura, 1300 °C-ko berehalako tenperaturarekiko erresistentzia, deformazio edo kristalizazio arriskurik gabe.

Inertzi kimikoa: HCl, H₂, O₂, SiH₄ bezalako prozesu-gasei eta ingurune azido/alkalinoei eusten die. Ez da korrosiboa epe luzerako erabileran.

2. Zehaztasun-diseinua

Egitura optimizatu:

Zirrikituen arteko tartearen zehaztasuna ±0.05 mm-koa da, oblearen kokapen zehatza bermatuz (8/12 hazbetekoa) eta marradurak edo desplazamenduak saihestuz.

Diseinu termikoarekiko erresistentea, igoera eta jaitsiera azkarretara egokitzen da (berotze-tasa ≤20 °C/min).

Partikula-formazio txikia: Gainazala ultra-zehaztasunez leundu da (Ra ≤0.2μm) partikulen atxikimendua eta erorketa murrizteko.

3. Konfigurazio dibertsifikatua

Edukiera Aukerakoa: 25 pieza, 50 pieza, 100 pieza eta beste zehaztapen estandar batzuk onartzen ditu, zirrikitu zenbaki ez-estandarrak ere pertsonaliza daitezke.

Motaren egokitzapena: Txalupa irekia, txalupa itxia edo txalupa mota berezia (adibidez, txalupako hondoko desbideratze kanalaren diseinua).

1.G: Tamaina ez-estandarra edo diseinu berezia eman al dezakezu?

A1: Semixlabek zerbitzu pertsonalizatuak eskaintzen ditu, besteak beste, tamaina doikuntza, tenperaturaren goiko muga (materiala berritu behar da) edo interfaze mota. Jarri harremanetan Semixlabeko talde teknikoarekin baldintza zehatzak lortzeko.

2.G: Zenbat denbora behar da entregatzeko?

A2: Produktu estandarren entrega-epea 4-6 astekoa da, eta produktu pertsonalizatuen diseinu eta egiaztapen-epea 2-3 astekoa.

3.G: Salmenta osteko laguntza teknikoa eskaintzen al duzue?

A3: Bai, bizitza osorako aholkularitza teknikoa eta larrialdiei erantzuteko zerbitzuak eskaintzen ditugu. Instalazio edo erabilera arazoren bat izanez gero, laguntza taldearekin harremanetan jar zaitezke edozein unetan posta elektronikoz edo telefonoz.

4. galdera: Produktuak erdieroaleen industriako estandarrak betetzen al ditu?

A4: Bai, ekoizpen-prozesuak SEMI estandarrak betetzen ditu eta ISO 9001 kalitate-kudeaketa sistemaren ziurtagiria du. Lote bakoitza hermetikotasun, tenperaturarekiko erresistentzia eta purutasun probatzen da fabrikatik irten aurretik.