Kuartzozko piezak

Kuartzoa oraindik ere nonahi dago erdieroaleen prozesamenduan. Ez da berria, baina fidagarria da, eta fabrika gehienek badakite nola jokatzen duen. Purutasuna kontrolatzen den bitartean, ondo funtzionatzen du difusio, oxidazio eta garbiketa urratsetan.

Kuartzozko pieza asko labe sistemetan edo PECVD erremintetan sartzen dira. Itxaropen nagusia egonkortasuna da — ez nahitaez bizitza luzea, baina errendimendu aurreikusgarria. Hori nahikoa izaten da prozesu estandar askotarako.

Noski, kuartzoak baditu bere mugak. Azkarrago higatu daiteke baldintza batzuetan, batez ere SiC-rekin alderatuta. Baina nahiko erraza denez lortzea eta ez oso garestia denez, jendeak oraindik ere asko erabiltzen du.