Kuartzozko eraztuna 150 mm

Plasma eraginpean dagoen osagai gisa, kuartzozko eraztuna energia handiko inguruneetan funtzionatzeko diseinatuta dago, egitura-egonkortasuna eta prozesuaren koherentzia mantenduz.

Produktuaren informazio gakoa

Materiala eta abantailak

AMAT Kuartzozko Eraztuna 150 mm-koa erdieroale mailako kuartzo urtuz (SiO₂) fabrikatzen da, plasma prozesatzeko inguruneetan duen errendimendu bikainagatik ezaguna den materiala.

Kuartzo urtuaren abantaila nagusiak:

Kutsadura Ultra-Baxua

Kuartzo puruak ezpurutasun metaliko maila oso baxuak ditu, obleen kutsadura arriskua minimizatuz eta erdieroaleen fabrikazio estandar aurreratuak babestuz.

Plasma erresistentzia bikaina

Kuartzoak ioi bonbardaketaren eta plasma higaduraren aurrean erresistentzia handia eskaintzen du, eta horrek egokia da sputtering bidezko grabatuan eta plasma ganberetan epe luzerako erabilerarako.

Egonkortasun Termiko Handia

Materialak bere egitura-osotasuna mantentzen du tenperatura altuetan eta ziklo termiko azkarrean, prozesaketa osoan zehar errendimendu koherentea bermatuz.

Isolamendu elektrikoa

Material ez-eroalea denez, kuartzoak ganberaren barruko eremu elektrikoa egonkortzen laguntzen du, plasmaren banaketa uniformea ​​lagunduz.

Inertetasun kimikoa

Kuartzoa erdieroaleen prozesuetan erabiltzen diren gas erreaktiboekiko erresistentea da, degradazioa murriztuz eta osagaien bizitza luzatuz.

Propietate hauek kuartzo urtua plasma eta tenperatura altuko baldintzen eraginpean dauden ganbera-osagaietarako material aproposa bihurtzen dute.

Erdieroaleen ekipamenduen barruko funtzioa

AMAT kuartzozko eraztunak 150 mm-koak hainbat funtzio kritiko betetzen ditu plasma prozesatzeko ganberetan, prozesuaren egonkortasunean eta oblearen kalitatean zuzenean eraginez.

1. Plasmaren Konfinamendua eta Kontrola

Kuartzozko eraztunak plasmaren muga-eskualdea definitzen laguntzen du, ioien banaketa kontrolatuz eta plasmaren portaera egonkortuz ganberaren barruan. Horrek prozesu-baldintza errepikagarriak eta koherenteak lortzen laguntzen du.

2. Ertzen Uniformetasunaren Optimizazioa

Oblearen ertzetik gertu kokatuta, eraztunak zeregin garrantzitsua du:

● Plasmaren dentsitatea erregulatzea oblearen perimetroan

● Ertz-efektuak murriztea

● Grabaketa edo deposizio uniformetasuna hobetzea

Hau ezinbestekoa da dimentsio kritikoaren (CD) kontrola eta oblearen errendimendu orokorra mantentzeko.

3. Ganberaren Babesa

Sakrifizio-osagai gisa, kuartzozko eraztunak xurgatzen du:

● Ihinztatutako materialak

● Grabatze azpiproduktuak

● Plasmaren esposizioa

Horrek ganberako osagai kritikoak, hala nola metalezko hormak, estalkiak eta mandrina elektrostatikoak, kalteetatik eta kutsaduratik babesten laguntzen du.

4. Prozesuaren Egonkortasunaren Hobekuntza

Geometria eta materialaren propietate koherenteak mantenduz, kuartzozko eraztunak honako hauek onartzen ditu:

● Gas-fluxu egonkorrak

● Plasmaren arteko elkarrekintza kontrolatua

● Partikula-sorkuntza murriztua

Horrek, azken finean, prozesuaren errepikagarritasuna hobetzea eta geldialdi-denbora murriztea dakar.