Kuartzozko kasetezko oblea-ontzia

Kuartzozko kasete-obleazko ontzia erdieroaleen difusio eta prozesamendu termikorako

Oxidazio, Difusio eta LPCVD Prozesuetarako Purutasun Handiko Kuartzozko Oblea Garraiolaria

Semixlab-en, erdieroaleen prozesamendu termiko aurreratuko aplikazioetarako diseinatutako errendimendu handiko kuartzozko kasete-ontziak fabrikatzen espezializatuta gaude. Erdieroaleen materialetan eta kuartzozko osagai zehatzetan esperientzia zabala dugunez, purutasun handiko kuartzozko oblea-eramaileak eskaintzen ditugu, oxidazio termikoa, dopanteen difusioa, LPCVD deposizioa eta tenperatura altuko errekuntza bezalako prozesu zorrotzak onartzeko diseinatuta.

Zer da kuartzozko kasete-oblea?

Kuartzozko kasete-oblea, kuartzozko oblea-ontzia, kuartzozko oblea-eramailea edo kuartzozko kasetea bezala ere ezaguna, siliziozko oblea anitz eusteko erabiltzen den kuartzozko osagai purua da, erdieroaleen prozesamendu termikoan zehar.

Barruan instalatuta:

● Difusio Bertikaleko Labeak;

● Labe Horizontaleko Sistemak;

● LPCVD ekipamendua;

● Oxidazio Labeak;

● Erreketa Sistemak;

Oblea-ontziak obleak zehaztasunez bereizten eta eusten ditu, gas-fluxu uniformea ​​eta bero-transferentzia ahalbidetuz.

Erdieroaleen fabrikazioan, ehunka obleak tenperatura altuko prozesamendua jasan dezakete aldi berean. Beraz, obleak dituen ontziak honako hauek eman behar ditu:

● Euskarri mekaniko egonkorra;

● Obleen arteko tarte zehatza;

● Partikula-sorkuntza txikia;

● Erresistentzia kimiko bikaina;

● Kutsadura maila oso baxuak.

Kuartzozko Materialaren Purutasun Handiko Ezaugarriak

Semixlab Kuartzozko Kasete Wafer Ontziak erdieroale mailako kuartzo urtuarekin (SiO₂) fabrikatzen dira, bere errendimendu termiko eta kimiko bikainagatik hautatua.

Kuartzozko materiala arretaz kontrolatzen da honako hau lortzeko:

● Ultra-purutasun handikoa;

● Kutsadura metaliko txikia;

● Talka termikoarekiko erresistentzia bikaina;

● Zerbitzu-bizitza luzea tenperatura altuko inguruneetan.

Materialaren propietate tipikoak:

Erdieroaleen Fabrikazioan Aplikazioak

Oxidazio Termikoaren Prozesua

Kuartzozko kasete-obleen ontziak oso erabiliak dira oxidazio termikoko labeetan silizio dioxidozko (SiO₂) geruzak siliziozko obleetan hazteko.

Dopanteen Difusio Prozesua

Kuartzozko kasete-obleen ontzia dopanteak sartzeko erabiltzen diren erdieroaleen difusio-labeetan osagai garrantzitsua da.

LPCVD film meheen deposizioa

Kuartzozko oblea-ontziak oso erabiliak dira Presio Baxuko Lurrun Kimikoen Deposizio (LPCVD) sistemetan.

Ohiko gordailatutako filmak hauek dira:

● Silizio nitruroa (Si₃N₄);

● Silizio polikristalinoa;

● Silizio oxidoa.

Zergatik aukeratu Semixlab?

1. Erdieroaleen mailako kuartzozko materialen hautaketa

Semixlabek arretaz hautatutako kuartzozko material puruak erabiltzen ditu, honako hauek zorrotz kontrolatuz:

● SiO₂ purutasuna;

● Kutsadura metalikoa;

● Burbuila-akatsak;

● OH edukia.

Horrek errendimendu fidagarria bermatzen du erdieroaleen ingurune termikoetan.

2. Zehaztasun handiko kuartzozko fabrikazio gaitasuna

Gure kuartzozko oblea-ontziak prozesu aurreratuen bidez fabrikatzen dira, besteak beste:

● Kuartzoaren zehaztasun handiko moldaketa;

● Tenperatura altuko moldaketa;

● Mekanizazio dimentsioduna;

● Gainazalaren akabera;

● Garbiketa eta ikuskapena.

3. Kalitate Kontrol zorrotza

Kuartzozko kasete-obleazko ontzi bakoitzak ikuskapen-prozedurak jasaten ditu, besteak beste:

● Dimentsioen ikuskapena;

● Akatsen ikuskapen bisuala;

● Gainazalaren kalitatearen ebaluazioa;

● Garbitasunaren egiaztapena.

4. Labe Sistema Desberdinetarako Pertsonalizazioa

Semixlabek kuartzozko oblea-ontzi pertsonalizatuak eskaintzen ditu, hainbat erdieroale-prozesu eta ekipamendu-plataformarekin bateragarriak. Pertsonalizazio-aukeren artean hauek daude:

Oblearen tamaina:

● 4 hazbeteko

● 6 hazbeteko

● 8 hazbeteko

● 12 hazbeteko

egitura:

● Kuartzozko txalupa bertikala;

● Kuartzozko txalupa horizontala;

● Kuartzozko ontzia, kontsola-mailan.

● Zirrikitu-zenbakia eta -tartearen pertsonalizazioa.

Oxidazio, difusio, LPCVD eta erreketa prozesuetan oblea maneiatzeko irtenbide egonkorrak behar dituzten erdieroaleen fabrikatzaileentzat, Semixlab Quartz Cassette Wafer Boat-ek oinarri fidagarria eskaintzen du errendimendu handiko oblea ekoizteko.