Kuartzozko Goiko Eraztuna

0200-02626 Kuartzozko Goiko Eraztuna erdieroaleen fabrikazio ekipoetan erabiltzen den zehaztasun handiko kuartzozko osagaia da. Plasma-intentsiboko inguruneetan, hala nola grabatu eta lurrun fisikoaren deposizioan (PVD) ganberetan, funtzionatzeko diseinatuta dago kuartzozko eraztun honek ganberaren barruko babes- eta prozesua egonkortzeko elementu kritiko gisa funtzionatzen du.

Semixlab-en, kalitate handiko erdieroaleen ordezko piezak eta kuartzozko doitasun osagaiak hornitzen ditugu, oblea fabrikatzeko instalazio modernoen eskakizun zorrotzak betetzeko diseinatuta. 0200-02626 Kuartzozko Goiko Eraztuna kuartzo urtu purutasun handikoa erabiliz fabrikatzen da, egonkortasun termiko bikaina, plasma erresistentzia eta kutsaduraren kontrola bermatzeko.

Produktuen Orokorra

0200-02626 Kuartzozko Goiko Eraztuna normalean erdieroaleen prozesatzeko ganbera baten goiko aldean instalatzen da, oblearen prozesatzeko eremua inguratuz edo harekin lerrokatuz. Plasma prozesatzeko sistemetan babes eta fluxua egonkortzeko osagai gisa erabiltzen da.

Produktuaren informazio gakoa

Dimentsio-tolerantzia zorrotzekin eta material-purutasun handiarekin fabrikatuta, Kuartzozko Goiko Eraztunak prozesu-ingurune egonkorrak eta oblearen errendimendu koherentea mantentzen laguntzen du.

Egitura-ezaugarri tipikoak

0200-02626 kuartzozko goiko eraztuna erdieroaleen prozesatzeko ganberekin integratzeko optimizatutako geometria batekin fabrikatzen da.

Diseinuaren ezaugarri tipikoak honako hauek dira:

● Barne-diametro zehatza (ID) oblearen prozesatzeko eremuarekin lerrokatuta

● Kanpoko diametroa (OD) ganberako babes-babesetan edo euskarrietan muntatzeko diseinatua

● Egonkortasun mekanikoa hobetzeko profil mailakatuak edo ildaskatuak

● Gas-fluxuaren zirrikituak edo zuloak aukeran, plasma eta gasaren banaketa errazteko

● Kuartzozko gainazal leunduak partikula sorrera minimizatzeko

● Zehaztasun handiko mekanizazioa instalazio eta errepikagarritasun koherenterako

Egitura-ezaugarri hauek hutsune handiko eta plasma handiko inguruneetan funtzionamendu fidagarria bermatzen laguntzen dute.

Erdieroaleen ekipamenduen barruko funtzioa

Erdieroaleen prozesatzeko sistemen barruan, Kuartzozko Goiko Eraztunak hainbat funtzio funtsezko betetzen ditu, ganberaren errendimenduan eta oblearen kalitatean zuzenean eragiten dutenak.

Plasma babesa: Eraztunak plasma-ingurunearen eta ganberako osagai kritikoen arteko babes-hesi gisa jokatzen du, plasma-egitura metalikoen eraginpean zuzenean egotea eragotziz.

Ganberaren Babesa: Kuartzozko goiko eraztunek osagai sakrifikatzaile gisa balio dute, prozesuko azpiproduktuak xurgatuz, hala nola deposizio-hondakinak edo grabatze-erreakzioak. Horrek ganberako hardware garestia kalteetatik babesten laguntzen du.

Prozesuaren egonkortasuna: Plasma eskualdea moldatuz eta oblearen ertzaren inguruan tarte koherentea mantenduz, kuartzozko eraztunak plasmaren portaera egonkorra eta prozesatzeko baldintza errepikagarriak laguntzen ditu.

Ertzen Uniformetasunaren Kontrola: Behar bezala diseinatutako kuartzozko eraztunek gas-fluxua eta plasma-banaketa erregulatzen laguntzen dute, eta horrek oblearen ertzen uniformetasuna eta prozesuaren errendimendu orokorra hobetzen ditu.

Materiala eta abantailak

0200-02626 Kuartzozko Goiko Eraztuna kuartzo urtu purutasun handikoz (SiO₂) ekoizten da, erdieroaleen ekipoetan asko erabiltzen den materiala, plasma eta tenperatura altuko baldintzetan duen errendimendu bikainagatik.

Materialaren abantaila nagusiak:

1. Plasmarekiko erresistentzia bikaina

Kuartzo urtuak ioi bonbardaketaren eta plasma korrosioaren aurrean erresistentzia handia erakusten du, eta horrek aproposa bihurtzen du erdieroaleen prozesatzeko ingurune gogorretarako.

2. Metalen kutsadura ultra-baxua

Kuartzo puruak ezpurutasun metaliko maila oso baxuak ditu, eta horrek partikulak sortzea eta kutsadura saihesten laguntzen du oblea prozesatzen denean.

3. Egonkortasun Termiko Bikuna

Kuartzoak egitura-osotasuna mantentzen du plasma-ganberetan ohikoa den tenperatura altuetan.

4. Isolamendu Elektrikoa

Material ez-eroalea denez, kuartzoak plasma ganberetan eremu elektrikoa egonkortzen laguntzen du, prozesatzeko baldintza uniformeak lortzen lagunduz.

5. Inertetasun kimikoa

Kuartzoak erresistentzia handia erakusten du erdieroaleen fabrikazioan erabiltzen diren prozesu erreaktiboko gasekiko.

Propietate hauek kuartzo urtua ganbera babesteko osagaietarako eta plasmaren eraginpean dauden piezetarako material hobetsia bihurtzen dute.