TaC estalitako LED epi suszeptorea

TaC estalitako LED epi suszeptoreak tantalio karburo (TaC) purutasun handiko estaldura teknologia erabiltzen du, MOCVD (metalezko lurrun kimiko organikoen deposizioa) ekipoetarako bereziki diseinatua eta LED epitaxial obleen tenperatura altuko deposizio prozesuetarako egokia. Produktuak tenperatura altuko erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia eta egonkortasun termiko bikainak ditu, eta horrek kutsadura eta partikula isurketa nabarmen murriztu eta zerbitzu-bizitza luzatu dezake. Aukera aproposa da LED epitaxial obleen errendimendua eta ekoizpen-eraginkortasuna hobetzeko.

Aplikazio:

TaC estalitako LED epi suszeptorea MOCVD ekipamenduetarako bereziki diseinatuta dago eta batez ere LED epitaxial obleen ekoizpenean erabiltzen da, batez ere galio nitruro (GaN) oinarritutako LED urdin eta ultramoreen hazkuntza epitaxialerako. SiC/GaN potentzia erdieroale gailuen fabrikazio beharrak ere ase ditzake eta tenperatura altuko CVD, MBE eta bestelako material metatze esperimentuetarako egokia da ikerketa zientifikoetako institutuetan.

Eskain daitezkeen zerbitzuak:

bezeroen aplikazio eszenatokiaren azterketa, materialak lotzea, arazo teknikoen ebazpena.

Enpresaren profila:

Semixlabek 2 laborategi ditu, 20 urteko material-esperientzia duen aditu-talde bat, I+G eta ekoizpen, proba eta egiaztapen gaitasunekin.

teknikoa parametroak

Aplikazio-eremu nagusiak

Kate ekologikoaren egiaztapenaren onespena

Semixlab TaC estalitako LED epi suszeptorearen kate ekologikoaren egiaztapenak lehengaietatik ekoizpenera arte hartzen ditu, nazioarteko estandarren ziurtagiria gainditu du eta hainbat teknologia patentatu ditu erdieroaleen eta energia berrien arloetan fidagarritasuna eta iraunkortasuna bermatzeko.

Ohiko eskaera prozesua

Lehengaien prestaketa (grafito puruaren ikuskapena) → Substratuaren fabrikazioa (prentsa isostatikoa) → TaC estaldura prozesua (CVD deposizioa) → Postprozesamendua (leunketa zehatza) → Kalitate ikuskapena → Ontziratzea eta entregatzea

LED teknologiak tamaina txikiagoetarantz eta zehaztasun handiagoetarantz garatzen diren heinean, hala nola Mini LED eta Mikro LED, MOCVD ekipoen egonkortasun eta prozesu-kontrol eskakizunak gero eta handiagoak dira. TaC estalitako LED epi-suszeptoreen sustapenak ez du soilik LED ekoizpenaren eraginkortasuna hobetu dezake, baita hurrengo belaunaldiko pantaila-teknologiaren fabrikazio-oinarri fidagarriagoa ere eskain dezake.

Zehaztapen tekniko zehatzak, txosten zuriak edo lagin-proben antolamenduak lortzeko, jarri harremanetan gure Laguntza Teknikoko Taldearekin Semixlabek zure prozesuaren eraginkortasuna nola hobetu dezakeen aztertzeko.

Semixlab TaC estalitako LED epi suszeptore nukleoaren abantailak

Tenperatura oso altuko erresistentzia

TaC estalitako LED epitaxial suszeptoreak tantalio karburozko purutasun handiko materialez eginda daude, eta denbora luzez egonkor funtziona dezakete 1200 °C-tik gorako tenperatura altuko inguruneetan. MOCVD prozesuaren muturreko tenperatura-baldintzetan ere, estaldura ez da pitzatuko edo zurituko, hazkuntza epitaxialaren prozesuaren uniformetasuna eta koherentzia bermatuz eta produktuaren etekina eraginkortasunez hobetuz.

Korrosioarekiko erresistentzia bikaina

LED epitaxial obleak fabrikazio prozesuan, suszeptorea denbora luzez H2 eta NH3 bezalako gas korrosiboen eraginpean egon behar da. TaC estaldurak oso inertzia kimiko handia du eta gasen higadurari aurre egin diezaioke modu eraginkorrean eta oxidazioak edo erreakzioak sortutako ezpurutasunak saihestu, horrela epitaxial oblearen purutasuna eta errendimendu optoelektronikoa bermatuz.

Deformazio termiko baxua

TaC estalduraren hedapen termikoaren koefizientea grafito substratuarenarekin oso bat dator, eta suszeptoreak deformazio termikoaren tasa oso baxua mantendu dezake tenperaturaren igoera eta jaitsiera azkarrak direnean ere. Ezaugarri honek asko murriztu dezake oblea epitaxialaren deformazio arriskua, geruza epitaxialaren hazkunde uniformea ​​bermatu eta produktuaren koherentzia hobetu.

Gainazaleko akabera altua

Suszeptorearen gainazala zehatz-mehatz leundua dago, zimurtasuna 0.5 μm-tik behera kontrolatuta, eta horrek akatsen tasa eraginkortasunez murrizten du hazkuntza epitaxialean zehar. Gainazal leunak oblea epitaxialaren eta suszeptorearen arteko atxikimendua ere murriztu dezake, oblea erraztuz eta oblea hausteko arriskua murriztuz.

Bizitza luzearen diseinua

Grafitozko suszeptore tradizionalen aldean, TaC estaldurak higadura eta korrosioarekiko erresistentzia hobea du, eta bere zerbitzu-bizitza 3 aldiz baino gehiago handitu daiteke. Horrek ez du kontsumigarrien ordezkapenaren maiztasuna murrizten bakarrik, baita suszeptoreen zahartzeak eragindako prozesu-gorabeherak ere, eta horrek ekoizpen-kostuak nabarmen murriztu ditzake epe luzera.