CVD SiC estalitako grafitozko RTP erretilua

RTP sistemek oblea euskarri erretiluak espremagailutik pasatzen dituzte. Ziklo bakoitzean, erretilua azkar berotzen da eta gero berdin azkar hozten da, eta hori milaka aldiz gertatzen da bere bizitza osoan zehar. Materiala edo fabrikazio prozesua arretaz kontrolatzen ez bada, errepikatutako kolpe termiko horrek poliki-poliki erretilua deformatzea edo bere forma galtzea eragin dezake.

Gure ikuspegia ez da tenperatura altuei aurre egitea soilik; zikloz ziklo, obleak ondo euskarrituta eta uniformeki berotuta mantentzea da.

Zergatik SGL6510 Grafitoa?

Beraz, zergatik aukeratu dugu SGL6510? Substratua erretilu osoaren bizkarrezurra delako. SGL6510 grafito isostatikoa da, egitura uniformea, eroankortasun termiko handia eta hedapen termiko txikia dituena; horrek guztiak barne-tentsioa murrizten eta erretilua denboran zehar dimentsioetan egonkorra mantentzen laguntzen du. Hori bereziki garrantzitsua da tenperatura-ziklo asko jasaten dituzten erretilu meheentzat.

Grafitoa behar den formara mekanizatu ondoren, CVD SiC estaldura trinko bat aplikatzen dugu. Estaldura honek gainazala oxidaziotik, korrosiotik eta higaduratik babesten du, eta partikula sorrera minimoa ere mantentzen du.

Lautasunak tenperaturak baino garrantzi handiagoa du

Egia esan, jende gehienak uste du erronka handiena erretiluak 700 °C-ko tenperatura jasan dezakeen ala ez dela. Baina ez da hori arazoa: benetako buruhaustea deformazioa da. Grafitozko erretilu mehe bat deformatu egin daiteke mekanizazioan, estalduran edo, besterik gabe, berotze eta hozte errepikatuagatik. Forma aldaketa txiki batek ere eragina izan dezake oblearen egoeran eta beroa modu uniformean hedatzen den ala ez.

Horregatik, lautasunaren kontrola da gure lehentasun nagusietako bat fabrikazio osoan. Kalitate handiko SGL6510 grafitoa erabiltzen dugu barne-egitura uniformearekin, mekanizazio-tolerantziak estuak mantentzen ditugu estaldura egin aurretik, tentsio baxuko CVD SiC prozesua erabiltzen dugu eta lautasuna egiaztatzen dugu ekoizpen-etapa nagusi bakoitzaren ondoren. Emaitza: gure erretilu gehienek ≤0.50 mm-ko lautasuna lortzen dute, eta asko are lauago ateratzen dira.

Materialaren errendimendua

CVD SiC estaldura ez da geruza mehe bat soilik, hesi trinko eta gogor bat osatzen du, azpiko grafitoaren bizitza luzatzen duena. Benetako erabileran, horrek partikula gutxiago, oxidazio eta korrosioarekiko erresistentzia bikaina eta kolpe termikoarekiko erresistentzia ona dakar. Erretilu hauek erdieroaleen gela garbietan irauteko eraikita daude.

Gure estalduraren lodiera estandarra 100 ± 20 μm da, baina zure aplikazioak beste zerbait eskatzen badu, egokitu dezakegu hori.

Zergatik aukeratu Semixlab?

RTP erretilu fidagarri bat egitea ez da grafitoa SiC-rekin estaltzea baino gehiago. Erretilua mehea denean, xehetasun guztiek garrantzia dute: mekanizazio-zehaztasuna, estaldura-tentsioa, azken lautasuna. Urteak daramatzagu grafito zehatzarekin eta CVD SiC estaldurekin lanean, beraz, badakigu nola orekatu faktore horiek. Emaitza bere geometria mantentzen duen, garbi mantentzen den eta ekoizpenean zerbitzu-bizitza luzea eskaintzen dizun erretilu bat da.

● Produktua: CVD SiC estalitako grafitozko RTP erretilua

● Oinarrizko materiala: SGL6510 grafito isostatikoa

● Gainazaleko estaldura: CVD silizio karburoa (SiC)

● Estalduraren lodiera: 100 ± 20 μm (pertsonalizagarria)

● Gehienezko etengabeko zerbitzu-tenperatura: 1400 °C arte

● Prozesuaren tenperatura tipikoa: 700 °C inguru

● Lautasuna: ≤0.20 mm (diseinuaren araberakoa)

● Diseinu pertsonalizatua: eskuragarri

Erretilu hauek hainbat erdieroale-prozesutan aurkituko dituzu: RTP, RTA, tenperatura altuko obleen euskarri orokorrean eta gela garbien fabrikazioan. Haien lan nagusia sinplea da: oblea ondo eustea eta beroa modu koherentean transferitzea ziklo termiko osoan zehar.

1. Zergatik da hain garrantzitsua lautasuna?

Erretiluak zuzenean eusten dio obleari berotze eta hozte azkarraren bitartean. Apur bat okertzen bada ere, baliteke oblea ez egotea uniformeki, eta horrek beroaren banaketa eta prozesuaren errepikagarritasuna kaltetu ditzake.

2. Erretilua etengabe 700 °C-tan funtziona dezake?

Bai, 700 °C-ko tenperatura erosotasun-eremuaren barruan dago. Erretilua 1400 °C-raino etengabe erabiltzeko diseinatuta dago, beraz, 700 °C-koa ez da arazorik.

3. Zein estaldura-lodiera eskaintzen duzue?

Gure estandarra 100 ± 20 μm da, baina zure aplikazioak beste lodiera bat behar badu, egokitu dezakegu.

4. RTP erretilu pertsonalizatuak egiten dituzue?

Noski. Zure marrazkietatik abiatuta, neurri, estaldura-lodiera, lautasun-eskakizun eta behar dituzun beste edozein zehaztapen zehatz dituzten erretiluak ekoiztu ditzakegu.