EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
MOCVDrako SiC estalitako grafitozko berogailua
Semixlab SiC estalitako grafitozko MOCVD berogailua errendimendu handiko berogailu-eramaile bat da, erdieroaleen fabrikazio-prozesuetarako diseinatua, lurrun-deposizio kimikoa (CVD) erabiltzen duena grafitozko substratu ultra-puru baten gainazalean silizio karburo (SiC) estaldura uniforme eta trinkoa eratzeko.
Deskribapena
Produktuak xehetasunak
SiC estalitako grafitozko MOCVD berogailuak grafitoaren eroankortasun termiko bikaina SiC estalduren tenperatura altua eta korrosioarekiko erresistentzia konbinatzen ditu, eta oso erabilia da lurrun-deposizio kimiko metal-organiko (MOCVD) ekipoetan, obleen epitaxia hazkuntza-prozesuetan egonkortasuna eta purutasun handia bermatzeko.
SiC estalitako grafitozko MOCVD berogailuaren produktuaren ezaugarriak
1. Ultra-purutasun handikoa eta egonkortasun kimikoa
Purutasuna ≥99.99995%: Gure Grafito Berogailua tenperatura altuko kloraziopean prestatzen da CVD prozesuaren bidez, eta horrek metalen ezpurutasunen kutsadura eraginkortasunez saihesten du eta erdieroaleen fabrikazioan ingurune ultra-garbien eskaera betetzen du.
Korrosio kimikoaren aurkakoa: SiC estalduraren trinkotasun eta gogortasun handiak (2500-2800ko Vickers gogortasuna) azidoen, alkalinoen, gatzen eta disolbatzaile organikoen higadurari aurre egin diezaioke, eta horrek ekipamenduaren bizitza erabilgarria luzatzen du gas korrosiboen ingurunean.
2. Tenperatura handiko erresistentzia bikaina
Tenperatura altuko egonkortasuna: 3000 °C-raino jasan dezake atmosfera geldoan, 2200 °C-raino funtzionamendu egonkorra hutsean eta 1600-1700 °C-raino ingurune oxidatzailean, eta hori egokia da MOCVD erreakzio-ganberaren muturreko baldintzetarako.
Hedapen Termikoaren Koefiziente Baxua (4.5 x 10-⁶K-¹): MOCVD Grafito Berogailuaren ezaugarri honek estalduraren pitzadurak edo zuritzea eraginkortasunez murrizten du tenperatura aldaketen ondorioz, egitura-osotasuna bermatuz epe luzeko ziklo termikoetan.
3. Kudeaketa termikoaren errendimendu optimizatua
Eroankortasun Termiko Handia (200-300 W/mK): Grafitozko MOCVD Berogailuaren eroankortasun termiko handiak zehazten du produktuak beroa azkar eta uniformeki transferi dezakeela oblearen gainazaleko tenperaturaren banaketa koherentea lortzeko (±1 °C), eta horrela, geruza epitaxialaren uniformetasuna hobetzen du eraginkortasunez.
Gas Laminar Fluxu Eremuaren Diseinua: Teknologiaren etengabeko iterazio eta hobekuntzaren ondoren, gure MOCVD Berogailuaren gainazalaren leuntasunak (Ra ≤ 0.8μm) eta geometriaren optimizazioak gas erreaktiboen banaketa uniformea bermatzen dute eta turbulentziak eragindako deposizio ez-uniformea murrizten dute.
zehaztapenak
Parametro Teknikoen Konparaketa eta Abantailak
| Ezaugarriak | Semixlab SiC estalitako berogailuak | Grafitozko berogailu konbentzionalak |
| Gehienezko funtzionamendu-tenperatura (inertea) | 3000 º C | 2500 º C |
| Garbitasun kimikoa | ≥ 99.99995% | ≤ 99.99 |
| Eroankortasun termikoa | 300 W/mK | 120-150 W/mK |
| Estaldura atxikipena | 415 MPa (4 puntuko tolestura) | 100-200 MPa |
| Bizitza tipikoa (zikloak) | > 500 ziklo | 100-200 zikloak |
Lehiatzeko abantaila
Zergatik Semixlab?
Pertsonalizazioa: Semixlabek bezeroei produktu eta zerbitzu tekniko pertsonalizatuak eskaintzeko konpromisoa hartzen du. Tamaina ez-estandarrekoen (360 mm-ko diametroa arte) eta estaldura-lodieren (20-500 μm) pertsonalizazioa onartzen dugu ekipamenduen behar ugari asetzeko.
Ziurtagiri Globala: Gure SiC Estalitako Grafito Berogailua SEMI betetzen du, ISO 9001 ziurtagiria du, eta gure produktuak batez ere Europara eta Estatu Batuetara esportatzen dira, baita Japoniara eta Hego Koreara ere, prezio/errendimendu abantaila nabarmenarekin.
Sinergia teknikoa: Semixlabek aspalditik du lankidetza estua Txinako ikerketa-erakunde nagusiekin, estaldura-teknologia patentatuak erabiliz (CGT Carbonen SiC³ prozesua, adibidez) estaldura-dentsitateak eta kolpe termikoarekiko erresistentzia optimizatzeko.
